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精密运动系统前馈与柔顺补偿参数的递归学习

M. Wind, J. Pierssens, R. Beerens, V. Dolk, T. van Keulen

发表年份
2026
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摘要

本文提出了一种递归算法,用于同时学习前馈和柔顺补偿参数,通过多变量回归公式联合估计摩擦、质量、加加速度和柔顺补偿参数,并减轻参数耦合。在半导体计量与检测系统上的实验表明,伺服性能提升了一个数量级。

关键词

recursive learningfeedforward controlcompliance compensationprecision motionparameter estimation

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