Ashing

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顶级研究者

Fujio Terai

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Takeshi Yamauchi

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Masaaki Furuya

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Masaaki Kano

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Katsuaki Aoki

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Katsuya Yamada

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Koichi Tamai

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Hidehito Azumano

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最高引用论文

Plasma ashing using microwaves via slot antenna for 300-mm wafers

Masaaki Furuya, Masaaki Kano, Fujio Terai, Katsuaki Aoki, Takeshi Yamauchi, Katsuya Yamada, Koichi Tamai, Hidehito Azumano

引用数: 2 • 1999

相关技术

PhysicsEngineeringTelecommunicationsElectrical engineeringMaterials scienceOptoelectronicsChemistryAnalytical Chemistry (journal)WaferAntenna (radio)