Alain B. Charles

论文数

1

总引用数

2

H-Index

1

关于

暂无简介。

研究焦点

Computer science1 · 2 次引用

Cost reduction1 · 2 次引用

Critical dimension1 · 2 次引用

Dimensional metrology1 · 2 次引用

Electrical engineering1 · 2 次引用

Engineering1 · 2 次引用

Factory (object-oriented programming)1 · 2 次引用

Lithography1 · 2 次引用

Manufacturing engineering1 · 2 次引用

Metrology1 · 2 次引用

Optics1 · 2 次引用

Overlay1 · 2 次引用

主要成就

1

H 指数

1

论文

2

总引用数

2

篇均引用

🏆 最高被引论文

Litho clusters with integrated metrology: the next step in continuous flow manufacturing

2 次引用 · 1999

📈 最高产年份: 1999 (1 论文)

🤝 主要合作者: 5

🏛 所属机构: NXP (Germany)

代表论文

1
Litho clusters with integrated metrology: the next step in continuous flow manufacturing
2 次引用 · 1999

主要合作者

JGJohn G. Maltabes1 篇合著论文 KEKarl E. Mautz1 篇合著论文 TST.D. Stanley1 篇合著论文 JGJohn Garbayo1 篇合著论文 JDJames D. Dougan1 篇合著论文

尚未生成