不确定系统的闭环最优故障检测

摘要

本文针对连续时间线性时不变不确定系统，提出了一种鲁棒故障检测滤波器设计方法，通过求解单一Riccati方程处理参数和动态不确定性。该方法在光刻机实验平台上验证了其能有效平衡故障敏感性与不确定性抑制，提高故障检测可靠性。