Micro Sensors for Innovation of Mechatronics. Application of Ultrasonic Sensors to Robot Measurement.

摘要

超音波センサを用いたロボット用計測システムを4つのタイプに分類し,このうち外部からロボット自体の絶対的な位置を計測するタイプの例として,筆者が開発した電気火花放電を発信器として用いる計測システムを紹介した.また超音波センサを小形化する意義について検討し,最近のシリコンプロセスによる研究についても簡単に紹介した.マイクロマシンの研究が進み機構が小さくなるとその振動は超音波領域になることが多く,それを検出する意味からも超音波センサの今後一層の小形・マイクロ化が望まれる.